ASM 코리아의 혁신제조센터는 총 1,350억원이 투입돼 연면적 약 31,577㎡ 규모로 신축됐다. 차세대 반도체 웨이퍼 증착 공정 장비 중 플라스마 원자층 증착(PEALD) 장비의 연구개발을 위한 핵심 시설로 운영될 예정이다.
히쳄 엠사드 ASM CEO는 "화성특례시의 전폭적인 지원 덕분에 혁신제조센터가 계획대로 순조롭게 완공될 수 있었다"며, "이번 준공을 바탕으로 첨단 공정 기술 역량을 강화하고, 화성특례시와의 협력을 더욱 확대해 나가겠다"고 밝혔다.
조승문 화성특례시 제2부시장은 축사에서 "ASM 코리아의 혁신제조센터 준공은 화성특례시가 글로벌 반도체 장비산업의 혁신 거점으로 성장하고 있음을 보여주는 의미 있는 성과"라며, "시는 기업의 연구·투자 활동이 원활히 추진될 수 있도록 인허가, 기반시설, 협력 생태계 조성 등 다양한 행정 지원을 아끼지 않겠다"고 말했다.
화성특례시는 반도체 소재·부품·장비 분야 글로벌 기업 유치를 확대하기 위해 2024년부터 대규모 투자기업 지원 전담팀을 운영하고 있다. 시는 ASML, ASM 등 주요 반도체 기업의 입지 검토, 인허가, 기반시설 협의, 연구협력 지원 등 종합적인 지원체계를 구축해 왔다.
손시권 경인본부 기자 ilyo22@ilyo.co.kr
