ASM은 네덜란드 알메르에 본사를 두고 있는 세계 반도체 장비 10위 기업 ASMI의 새로운 이름이다. 1968년 설립되어 전 세계 15개국에 4300여 명의 직원과 반도체 장비분야 특허 2519개를 보유하고 있다. 지난해 3조 5000억 원의 매출을 달성했으며, 원자층 증착 장비와 플라즈마 원자층 증착 장비 분야에서 세계 1위 기업이다. 한국에는 1989년에 진출한 뒤 1995년 자회사인 ASM코리아를 설립하고, 2019년에 870억 원을 들여 화성에 제조연구혁신센터를 건립, 운영 중이다.
ASM코리아는 기존 시설 바로 옆 7401㎡(약 2240평) 규모 부지에 1350억 원을 투자해 2025년까지 제2제조연구혁신센터를 건립할 예정이다. 화성시는 제2제조연구혁신센터 설립으로 200명 이상의 고용창출을 기대하고 있다. ASM코리아는 2030년까지 지속적으로 투자를 늘려간다는 계획이다. ASM코리아의 원자층 증착 장비는 KAIST가 최초로 개발해 국내기업 지니텍이 상용화했고, 지니텍을 ASM이 투자･인수하며 글로벌로 상용화한 성공모델의 우수한 사례다. ASM코리아는 소재와 부품의 70%를 협업해 생산할 예정이어서 국내 기업과의 상생협력에 큰 도움이 될 것으로 예상된다. 특히 삼성전자가 2nm(나노미터, 1nm=10억 분의 1m) 미세 공정 진입을 위한 개발에 나서고 있는 것으로 알려진 가운데 그 핵심기술을 보유하고 있는 기업이 바로 ASM인 것으로 알려졌다.
화성시에는 세계 최대 메모리 반도체 기업인 삼성전자 화성사업장과 반도체 업계 '슈퍼을'로 불리는 ASML이 들어서 있다. ASM 화성 제2제조연구혁신센터가 건립되면 ASML과 도쿄일렉트론코리아에 이어 글로벌 10대 반도체 장비 제조회사 3곳이 입지해 명실상부 경기남부 반도체 클러스터의 핵심 도시가 될 것으로 화성시는 기대하고 있다.
김장수 경인본부 기자 ilyo22@ilyo.co.kr
